回收锌粉采用有机腈(CH3CN)类的有机化合物取代甲烷和氮气可使涂层温度降低到700~900℃。在以有机腈为碳和氮源时,TiCN涂层生成反应.金属氯化物和碳氮化物在离涂层反应室最短的距离时进行混合,并保持一定的真空度。加热基体和涂层后的冷却均在氢气中进行。沉积速率取决于反应室内的压力、沉积温度和TiCk与H2的比例。沉积速度随压力、温度的升高而加快,但当压力增大到19995Pa(150Torr)时,涂层中开始出现孔洞,同时黏结性能变差。中温气相沉积的TiCN涂层硬质合金显示出优异的使用性能,与“高温”气相沉积涂层的TiC-TiN硬质合金相比有类似的耐磨性,但由于避免了脱碳相的生成,这类涂层JJ具的韧性较高。所以,中温气相涂层JJ具应用于切削、倒棱、切槽的加工时,与未涂层刀具相比使用寿命可成倍地提高
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